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什么是直流磁控溅射电源技术说明?

发布时间:2019-09-20 00:49 作者:互联网 来源:互联网
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电源功率范围10-120KW输入电源AC380V 三相四线制 50-60HZ ±10%输出方式直流输出电压空载800V灭弧时间≤ 20uS输出电流稳定率0.5%冷却方式10-60KW 风冷 60-120KW 水冷使用环境环境温度 0-40℃环境湿度 相对湿度 ≤ 85

电源功率

10-120KW

输入电源

AC380V 三相四线制 50-60HZ ±10%

输出方式

直流

输出电压

空载800V

灭弧时间

≤ 20uS

输出电流稳定率

0.5%

冷却方式

10-60KW 风冷 60-120KW 水冷

使用环境

环境温度 0-40℃

环境湿度 相对湿度 ≤ 85%

空气清洁 无粉尘腐蚀性易燃气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其它可溶性物质

水温 20-30℃

压力 0.15±0.05Mpa

注:电源的输出特性可根据使用需要做出相应的调整


备注:数据仅供参考,不作为投资依据。
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名称 最新价 涨跌
螺纹钢 3550 -
低合金板卷 3810 -40
普厚板 3990 -10
镀锌管 5300 -30
工字钢 4030 -
镀锌板卷 5280 -20
443/2B卷板 11850 0
冷轧无取向硅钢 5290 -
圆钢 3900 -20
锰铁 8150 0
低合金方坯 3400 -10
铜精矿 62000 50
准一级焦 2050 -110
电解锰 12700
中废 2050 0