（1）由三氯化磷、乙醇与乙酸钠作用制备

①氯化磷酸二乙酯的制备， 将三氯化磷与甲苯混合后，搅拌下加入无水乙醇，湿度控制在30-40℃加完后继续搅拌0.5h ，反应生成亚磷酸二乙酯。接着再滴入二氯硫酰，湿度管制在30-40℃减压除去多余的二氯硫酰，剩余物即氯代磷酸二乙酯。

②磷酸三乙酯的制备， 将乙醇钠的醇溶液加入反应釜，在搅拌下滴加氯代磷酸二乙酯，湿度控制在70℃以下，用乙醇钠和乙酸调解pH值至7-8，加完后搅拌4h。然后加入冷水，搅拌均匀后再加入甲苯，继续搅拌一段时间，静置分层，提取上层油状物，用无水碳酸干燥，过滤后回收甲苯，再进行减压蒸馏，收集72-88℃/0.4-0.667MPa的产物，即得成品。

（2）以三氯氧磷和乙醇为原料，两步酯化法合成， 将100mL(1.07mol)三氯氧磷投入装有搅拌器的250mL四口烧瓶中，用冰盐水冷却至低于15℃然后在真空下滴加92mL（1.60mol)乙醇。在另一带有搅拌器的1000mL四口烧瓶中，投入550mL(9.63mol)乙醇，常压下滴加上述产物，用冰盐水水冷却，保证反应湿度小于15℃将反应混合物在0.098MPa 高真空下进行乙醇回收。控制蒸馏湿度小于55℃将回收后的乙醇套用到酯化2中，然后将剩余产物用液碱进行中和，使其pH值为6-7，萃取，再蒸馏，得成品165.05g。工艺参数：三氯氧磷：乙醇=1：9（mol),反应湿度15℃反应时间为1.5h；产品收率约82%。

（3）氯代磷酸二乙酯的制备　将三氯化磷与甲苯混合后，搅拌下加入无水乙醇，温度控制在30～40℃，加完后继续搅拌0.5h，反应生成亚磷酸二乙酯。接着再滴入二氯硫酰，温度控制在35℃，加完后加入无水乙醇并搅拌1h，维持温度在30～40℃，减压除去多余的二氯硫酰，剩余物即氯代磷酸二乙酯。

（4）磷酸三乙酯的制备　将乙醇钠的醇溶液加入反应釜，在搅拌下滴加氯代磷酸二乙酯，温度控制在70℃以下，用乙醇钠和乙酸调解pH值至7～8，加完后搅拌4h。然后加入冷水，搅拌均匀后再加入甲苯，继续搅拌一段时间，静置分层，提取上层油状物，用无水碳酸钾干燥，过滤后回收甲苯，再进行减压蒸馏，收集72～88℃/0.4～0.0667MPa的产物，即得成品.